衍射光学元件

基本属性

• 拼音字母yan she guang xue yuan jian
• 拼音首字母ysgxyj
• 注音符号ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ

扩展释义

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。