离子铣

基本属性

• 拼音字母li zi xi
• 拼音首字母lzx
• 注音符号ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ

扩展释义

离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。