曝光区域

基本属性

• 拼音字母pu guang qu yu
• 拼音首字母pgqy
• 注音符号ㄆㄨ ㄍㄨㄤ ㄑㄩ ㄩ

扩展释义

在光刻工艺中，光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。