对准精度

基本属性

• 拼音字母dui zhun jing du
• 拼音首字母dzjd
• 注音符号ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ

扩展释义

光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。